工業激光器

激光切割、鉆孔、打標、剝離、消融、退火

產品

GENIUS系列紫外皮秒激光器

特征參數:

● 150-350mW@355nm
● 80MHz重復頻率 / 12ps脈寬
● 高光束質量M2<1.3
● 緊湊、密封、堅固的工業級操作平臺確保了良好的光束性能和長期的功率穩定性。

應用:

● 半導體晶圓檢查
● 細胞篩選
● 微加工
● 微型立體光刻

GENIUS系列紫外皮秒激光器

  • 商品圖尺寸

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  • 規格參數

    Specification parameter
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  • 光束特性



    項目

    GENIUS-150

    GENIUS-350

    波長(nm)

    355nm

    功率

    150mW

    350mW

    重復頻率1(MHz)

    80MHz±1MHz

    脈寬2(ps)

    <12ps

    光束質量

    TEM00(M2<1.3)

    平均功率穩定性3(RMS)

    <2%

    偏振度

    >100:1 水平

    光斑圓度(%)

    >85%

    光束指向性4(μrad/℃)

    <20μrad/℃

    光斑尺寸5(mm)

    ~1mm

    一般特性


    電源輸入

    220 VAC ±5% 50-60Hz

    能量損耗

    <1kW

    冷卻方式

    閉路循環水冷

    工作條件

    溫度 15-35℃  濕度 <65%

    加熱時間(min)

    <40min

    GENIUS 圖片1.jpg        GENIUS 圖片2.jpg

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